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光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

  • 產(chǎn)品型號:AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-01-13
  • 訪  問  量:2505
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些

  光刻機(jī)水冷機(jī)是一種常見的工業(yè)冷卻設(shè)備,光刻機(jī)水冷機(jī)安裝時需要選取合適的安裝位置,這樣可以減少制冷量損失并且操作更為便利。

  1、應(yīng)當(dāng)盡量減少光刻機(jī)水冷機(jī)與被控溫設(shè)備的距離,這樣的好處是可以減少冷凍水在管路中的壓降和冷量損失,而且機(jī)組沒有遠(yuǎn)程控制功能時方便操作設(shè)備;

  2、從散熱條件來說,將光刻機(jī)水冷機(jī)安裝有良好的通風(fēng)環(huán)境,可以將機(jī)組帶出的熱量及時排出,另外考慮到為了方便機(jī)組操作,將光刻機(jī)水冷機(jī)的控制和故障反饋部分遠(yuǎn)程接入是非常有必要的。

  3、光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音主要來自于壓縮機(jī)、循環(huán)水泵和風(fēng)機(jī)這幾個部件,其中風(fēng)機(jī)的噪音是主要的,常規(guī)的小型光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音還是比較小的,如果是在有靜音要求的地方比如實驗室使用,則需要考慮光刻機(jī)水冷機(jī)組的降噪問題。

  4、光刻機(jī)水冷機(jī)組在使用和后期維護(hù)中可能需要補充一定量的循環(huán)水,所以安裝位置應(yīng)當(dāng)考慮有自動補水的水源,以及設(shè)備檢修時可以方便地將循環(huán)水排出;如果光刻機(jī)水冷機(jī)采用的是手動補水的方式,則只需考慮設(shè)備的排水問題就可以了。

如果您想了解更多關(guān)于光刻機(jī)水冷機(jī)安裝位置的要求,也可以隨時與無錫冠亞取得聯(lián)系,我們的制冷工程師會隨時為您提供支持。

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