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光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

  • 產(chǎn)品型號:AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-01-13
  • 訪  問  量:1236
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價(jià)格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

  在光刻機(jī)用冷水機(jī)中,閥門的主要功能是控制制冷劑的流量和方向。在日常使用中,經(jīng)常使用閥門。當(dāng)行業(yè)冷水機(jī)需要停止或打開時(shí),需要使用閥門。由于其日常使用頻率很高,因此在安裝過程中應(yīng)多加注意,以確保其正常使用而不會影響工業(yè)的穩(wěn)定性冷水機(jī)。

  1.閥門應(yīng)安裝在易于拆卸和維護(hù)的地方。在安裝各種閥門時(shí),請注意制冷劑的流動方向,不要以相反的方向安裝它們。

  2.安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)的法蘭閥時(shí),在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板,并根據(jù)閥門上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度。當(dāng)閥門較大而槽較深時(shí),應(yīng)使用較厚的石棉板,以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密。組裝法蘭閥時(shí),請確保所有螺栓受力均勻,否則,凹凸面容易產(chǎn)生偏斜。

  3.截止閥的安裝應(yīng)使工作流體從閥的??底部流到上部。在水平管道上安裝時(shí),閥桿應(yīng)垂直向上或傾斜一定角度,并且閥桿不得向下。如果閥門位置難以接近或過高,可以將閥桿水平安裝以方便操作。

  4.在為光刻機(jī)用冷水機(jī)安裝止回閥時(shí),閥芯應(yīng)能夠自動打開。對于提升止回閥,閥芯的線和水平面應(yīng)相互垂直。對于旋啟式止回閥,應(yīng)確保閥芯板的旋轉(zhuǎn),并且閥芯板水平安裝。

  5.靠譜閥應(yīng)直接安裝在設(shè)備出口的截止閥上,閥體上的箭頭應(yīng)與工作介質(zhì)的流向一致。

  6.電磁閥水平安裝在設(shè)備的出口處,并位于定的位置。

7.光刻機(jī)用冷水機(jī)中的熱力膨脹閥也水平安裝。

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