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如何確保半導(dǎo)體反應(yīng)腔室控溫系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行

 更新時(shí)間:2022-07-06 點(diǎn)擊量:738

  半導(dǎo)體反應(yīng)腔室控溫系統(tǒng)是既可以加熱又可以冷卻的集成設(shè)備,采用機(jī)械原理快速升高和降低溫度。它不僅使溫度迅速升高,而且具有較大的加熱和冷卻能力,被廣泛應(yīng)用于生物,化學(xué)工業(yè),石材,科學(xué)研究,醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為各個(gè)行業(yè)的快速發(fā)展提供了保證。

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  1、半導(dǎo)體反應(yīng)腔室控溫系統(tǒng)的整體設(shè)備為全封閉系統(tǒng),設(shè)備不會(huì)因加熱而增加壓力,將根據(jù)溫度變化調(diào)節(jié)傳熱介質(zhì),使整個(gè)設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)。但是,某些意外故障將導(dǎo)致溫度緩慢變化,這種情況持續(xù)一段時(shí)間,將導(dǎo)致設(shè)備損壞,甚至直接損壞核心組件。

  2、當(dāng)遇到降溫慢的問題時(shí),可以戴手套觸摸主機(jī)壓縮機(jī)的排氣口,看看排氣管的溫度是否不高,然后再觸摸吸氣管。查看吸水管是否結(jié)霜,如果滿足了這兩點(diǎn),則設(shè)備缺少制冷劑,請參閱設(shè)備隨附的操作手冊以添加制冷劑,確保選擇合格的制冷劑。

  3、除了制冷劑引起的非冷卻問題外,設(shè)備制冷系統(tǒng),傳感器系統(tǒng),控制系統(tǒng),一個(gè)或多個(gè)系統(tǒng)也可能存在問題。您可以先關(guān)閉設(shè)備,然后啟動(dòng)設(shè)備以查看是否可以解決問題。如果不是,請依次檢查每個(gè)系統(tǒng)。非人員請勿打開設(shè)備,以免造成二次損壞。

  4、確認(rèn)設(shè)備的相關(guān)閥門狀態(tài)是否滿足啟動(dòng)要求,并打開電源。開關(guān)以使電源控制指示燈點(diǎn)亮。啟動(dòng)冷卻水泵,冷卻塔風(fēng)扇和制冷劑水泵,您應(yīng)該能夠看到三個(gè)設(shè)備的操作指示燈亮起。

  5、檢測半導(dǎo)體反應(yīng)腔室控溫系統(tǒng)的潤滑油溫度,油泵開始運(yùn)行后,將能量調(diào)節(jié)控制閥置于減荷位置,并確認(rèn)滑閥處于零位置以調(diào)節(jié)油壓控制閥。

  6、設(shè)備啟動(dòng)并投入運(yùn)行后,為了以確保設(shè)備正在運(yùn)行,另需查驗(yàn)制冷劑水泵,冷卻水泵,冷卻塔風(fēng)扇在運(yùn)行過程中的聲音和振動(dòng),水泵的出口壓力,水溫等指標(biāo)是否在正常工作參數(shù)范圍內(nèi)。

7、壓縮機(jī)運(yùn)行過程中,電機(jī)的工作電流是否在規(guī)定范圍內(nèi),如果電流太大,則應(yīng)進(jìn)行調(diào)整以減少負(fù)載運(yùn)行,以防止電動(dòng)機(jī)因過大的運(yùn)行電流而燒壞,以及在運(yùn)行期間壓縮機(jī)的聲音和振動(dòng)是否正常。


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