一、光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)的使用注意事項(xiàng)：

　　1）光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)組的正常開(kāi)、停機(jī)須嚴(yán)格按照光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)廠家提供的操作說(shuō)明書(shū)的步聚進(jìn)行操作。

　　2）機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中，應(yīng)及時(shí)、正確地做好參數(shù)的記錄工作，如出現(xiàn)報(bào)警停機(jī)，應(yīng)及時(shí)通知相關(guān)人員對(duì)機(jī)組進(jìn)行檢查，如無(wú)法排除故障，可以直接與光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)廠家聯(lián)系。

　　3）機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中嚴(yán)禁將水流開(kāi)關(guān)短接，以免凍壞水管。機(jī)房應(yīng)有專門(mén)的工作人員負(fù)責(zé)，嚴(yán)禁閑雜人員進(jìn)入機(jī)房，操作機(jī)組。

　　4）機(jī)房應(yīng)配備相應(yīng)的靠譜防護(hù)設(shè)備和維修檢測(cè)工具，如壓力表、溫度計(jì)等，工具應(yīng)存放在固定位置。

　　二、光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)組停機(jī)注意事項(xiàng)

　　1）機(jī)組在停機(jī)后應(yīng)切斷主電源開(kāi)關(guān)。在停機(jī)時(shí)期間，應(yīng)該將機(jī)組全部遮蓋，防止積灰，與機(jī)組無(wú)關(guān)的人員不得接觸機(jī)器。

　　2）如機(jī)組處于長(zhǎng)期停機(jī)狀態(tài)期間，應(yīng)將冷水、冷卻水系統(tǒng)的內(nèi)部積水全部放凈，防止產(chǎn)生銹蝕。水室端蓋應(yīng)密封住。

　　3）機(jī)組長(zhǎng)期停機(jī)時(shí)，應(yīng)做好維修保養(yǎng)工作。