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工業(yè)光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)開(kāi)機(jī)停機(jī)事項(xiàng)

 更新時(shí)間:2021-03-25 點(diǎn)擊量:1462

  一、光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)的使用注意事項(xiàng):

  1)光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)組的正常開(kāi)、停機(jī)嚴(yán)格按照光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)廠家提供的操作說(shuō)明書(shū)的步聚進(jìn)行操作。

  2)機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中,應(yīng)及時(shí)、正確地做好參數(shù)的記錄工作,如出現(xiàn)報(bào)警停機(jī),應(yīng)及時(shí)通知相關(guān)人員對(duì)機(jī)組進(jìn)行檢查,如無(wú)法排除故障,可以直接與光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)廠家聯(lián)系。

  3)機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中嚴(yán)禁將水流開(kāi)關(guān)短接,以免凍壞水管。機(jī)房應(yīng)有專門(mén)的工作人員負(fù)責(zé),嚴(yán)禁閑雜人員進(jìn)入機(jī)房,操作機(jī)組。

  4)機(jī)房應(yīng)配備相應(yīng)的靠譜防護(hù)設(shè)備和維修檢測(cè)工具,如壓力表、溫度計(jì)等,工具應(yīng)存放在固定位置。

 工業(yè)光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)

  二、光刻機(jī)冷卻系統(tǒng)冷水機(jī)組停機(jī)注意事項(xiàng)

  1)機(jī)組在停機(jī)后應(yīng)切斷主電源開(kāi)關(guān)。在停機(jī)時(shí)期間,應(yīng)該將機(jī)組全部遮蓋,防止積灰,與機(jī)組無(wú)關(guān)的人員不得接觸機(jī)器。

  2)如機(jī)組處于長(zhǎng)期停機(jī)狀態(tài)期間,應(yīng)將冷水、冷卻水系統(tǒng)的內(nèi)部積水全部放凈,防止產(chǎn)生銹蝕。水室端蓋應(yīng)密封住。

  3)機(jī)組長(zhǎng)期停機(jī)時(shí),應(yīng)做好維修保養(yǎng)工作。

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